大族激光:接近式光刻机已经投入市场,步进式光刻机已经开始用户优化

日期:2023-09-18 09:50:57 / 人气:175

大族激光9月17日在互动平台表示,目前公司的光刻机项目主要应用于分立器件领域,分辨率为3-5微米;其中,接近式光刻机已经投入市场,步进式光刻机已经开始用户优化。公司将继续根据市场需求和业务发展制定R&D计划,并加大R&D核心零部件的国产化。

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