大族激光9月17日在互动平台表示，目前公司的光刻机项目主要应用于分立器件领域，分辨率为3-5微米；其中，接近式光刻机已经投入市场，步进式光刻机已经开始用户优化。公司将继续根据市场需求和业务发展制定R&D计划，并加大R&D核心零部件的国产化。